[PConline 資訊]據(jù)外媒報道稱，CEA技術(shù)研究所Leti開發(fā)了一種用于監(jiān)測危險的化學(xué)物質(zhì)排放和微量氣體的光聲光譜技術(shù)。與現(xiàn)有工具相比，這個技術(shù)可以幫助將這些系統(tǒng)的成本和尺寸降低10倍甚至更多。

據(jù)介紹稱，這個探測器還具有較高的抗外部噪聲能力和高靈敏度和選擇性，它將在Photonics West 2020的邀請論文中發(fā)表，題為“微型PA檢測器：突破集成在硅片上的中紅外光聲光譜技術(shù)的極限”。這個論文的主要作者吉恩-紀(jì)堯姆·庫塔德（Jean-Guillaume Coutard）介紹稱：“ PA電池的特殊設(shè)計可以提高對外部噪聲和測量條件變化的抵抗力，這一結(jié)果源于CEA-Leti的麥克風(fēng)制造專有技術(shù)，它為將這些設(shè)備集成到便攜式檢測設(shè)備中開辟了道路。”

據(jù)了解，光聲（PA）光譜學(xué)是可用于監(jiān)視危險化學(xué)物質(zhì)排放和微量氣體的最靈敏技術(shù)之一。這個技術(shù)結(jié)合級聯(lián)激光器已在從工業(yè)控制到排放監(jiān)測和生物醫(yī)學(xué)分析的眾多應(yīng)用領(lǐng)域中使用，不過這種系統(tǒng)的大規(guī)模生產(chǎn)和廣泛使用將需要較小的占地面積和較低的制造成本。

CEA-Leti開發(fā)了不同版本的微型光聲電池，并演示了使用微型硅基PA電池檢測氣體痕跡的方法。缺點(diǎn)之一就是該系統(tǒng)依賴于商用MEMS麥克風(fēng)，即使這些組件可靠并且滿足某些性能要求，它們也不專用于光聲氣體檢測也不易于集成到制造工藝流程中。

Leti開發(fā)的新型microPA技術(shù)結(jié)合了完全集成的MEMS麥克風(fēng)和通過堆疊兩個200 mm Si晶圓而構(gòu)建的中紅外光子學(xué)。傳感器晶片包括由MEMS機(jī)械膜片和納米壓阻計以及毛細(xì)管和流體端口制成的麥克風(fēng)。第二個晶片是帽狀晶片，包括PA單元、擴(kuò)展體積，可將光引導(dǎo)到PA單元中的SiGe波導(dǎo)以及電觸點(diǎn)。

編譯來源：Newelectronic